Position-controlled Si nanocrystals in a SiO_2 thin film using a novel amorphous Si ultra-thin-film "nanomask" due to a bio-nanoprocess for low-energy ion implantation
Position-controlled Si nanocrystals in a SiO_2 thin film using a novel amorphous Si ultra-thin-film "nanomask" due to a bio-nanoprocess for low-energy ion implantation
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SiO_2 薄膜中的位置控制硅纳米晶体，采用新型非晶硅超薄膜“纳米掩模”，采用生物纳米工艺进行低能离子注入
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
et. al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Nakama;et. al.
