H.Tomita & K.Furuya: "Hydrogen Desorption Behaviors of HF-Treated Silicon Wafer." Jpn.J.Appl.Phys.39. 897-901 (1991)
H.Tomita & K.Furuya: "Hydrogen Desorption Behaviors of HF-Treated Silicon Wafer." Jpn.J.Appl.Phys.39. 897-901 (1991)
复制标题
富田
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
