Breakthrough reduction of low-k damage with cryoplasma ashing
Breakthrough reduction of low-k damage with cryoplasma ashing
复制标题
通过冷等离子体灰化突破性地减少低 k 损伤
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
& G. Dubois
中科院分区：
文献类型：
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作者：
F. Iacopi;J. H. Choi;H. Muneoka;S. Mori;K. Terashima;M. Rice;L. Krupp;& G. Dubois
