Self-Calibration Method of Nanometer Profile Measurement on Large Aspheric Optical Surface
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复制标题
大非球面光学表面纳米轮廓测量的自校准方法
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Kiyoshi Takamasu
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tomohiko Takamura;Yohan Kondo;Youichi Bitou;Satoru Takahashi;Kiyoshi Takamasu
