An RF-PECVD System for Carbon Nanotubes (CNTs) Fabrication

An RF-PECVD System for Carbon Nanotubes (CNTs) Fabrication
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用于碳纳米管 (CNT) 制造的 RF-PECVD 系统

DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
Proc. 12th Asian Conf. on Electrical Discharge (ACED), Chenzhen、China
影响因子：
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通讯作者：
C.Honda
C.Honda
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Y.Kawano;S.Kawashiri;Y.M.Sung;M.Otsubo;C.Honda

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