用刻蚀坑方法抑制平面型InGaAs/InP盖革模式APD的边缘击穿

用刻蚀坑方法抑制平面型InGaAs/InP盖革模式APD的边缘击穿
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DOI:
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发表时间:
2018
期刊:
光子学报, 2018,Vol.47(5):523001-0523001.
影响因子:
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通讯作者:
叶晗
叶晗
中科院分区:
其他
文献类型:
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作者:
侯丽丽;韩勤;李彬;王帅;叶晗

文献摘要

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