Hochgenaue Kalibrierung eines holografischen Multi-Punkt-Positionsmesssystems
Hochgenaue Kalibrierung eines holografischen Multi-Punkt-Positionsmesssystems
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DOI：
10.1515/teme-2019-0153
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发表时间：
2020-01
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Simon Hartlieb;Michael Tscherpel;Flavio Guerra;T. Haist;W. Osten;Michael Ringkowski;O. Sawodny
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Simon Hartlieb;Michael Tscherpel;Flavio Guerra;T. Haist;W. Osten;Michael Ringkowski;O. Sawodny
多点定位测量系统是一种非常先进的测量、定位和定向系统，具有更高的测量精度。这个信息系统最好是一个简单的相机系统，这是一个衍射光学元件（DOE）。使用多点方法（MPM）韦尔登测量1/100像素下的德国图像。在实践中死亡是一个非常复杂的过程。在这片韦尔登中，有许多植物生长和繁殖。在此基础上，利用NPMM-200纳米定位机器人对一个多项式进行了最佳解算。Es韦尔登Standardabweichungen des Restfehlers von 0，31 µm im Objektraum（etwa 6/1000 Pixel im Bildraum）auf einer Fläche von etwa 87 mm × 49 mm87\hspace{0.1667em}\text{mm}\times 49\hspace{0.1667em}\text{mm} erreicht（Polynomgrad = 9）.
Zusammenfassung Mit einem Multi-Punkt-Positionsmesssystem ist es möglich, Positionen und Orientierungen mit sehr hoher Genauigkeit bildbasiert zu messen. Das Messsystem besteht aus einem einfachen Kamerasystem, das um ein diffraktives optisches Element (DOE) erweitert wird. Durch die Multi-Punkt-Methode (MPM) werden Messunsicherheiten von deutlich unter 1/100 Pixel erzielt. Um dies in der Praxis anwenden zu können, ist eine entsprechend hochgenaue Kalibrierung nötig. In diesem Beitrag werden verschiedene Kalibrierverfahren und -funktionen vorgestellt und untersucht. Die Auswertung zeigt, dass sich zur Kalibrierung ein allgemeiner Polynomansatz zusammen mit der Nanomess- und Positioniermaschine NPMM-200 am besten eignet. Es werden Standardabweichungen des Restfehlers von 0,31 µm im Objektraum (etwa 6/1000 Pixel im Bildraum) auf einer Fläche von etwa 87 mm × 49 mm87\hspace{0.1667em}\text{mm}\times 49\hspace{0.1667em}\text{mm} erreicht (Polynomgrad = 9).