T.Hiramoto: "Fabrication of Si Nano-Structures for Single Electron Device Applications by Anisotropic Etching" Jpn.J.Appl.Phys.35・12B. 6664-6667 (1996)
T.Hiramoto: "Fabrication of Si Nano-Structures for Single Electron Device Applications by Anisotropic Etching" Jpn.J.Appl.Phys.35・12B. 6664-6667 (1996)
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T.Hiramoto：“通过各向异性蚀刻制造用于单电子器件应用的硅纳米结构”Jpn.J.Appl.Phys.35・12B（1996）
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