田邉裕貴: "D.C.マグネトロンスパッタリングにより作製したTiN薄膜の機械的特性に及ぼすバイアス電圧と成膜ガス圧の影響"日本機械学会M&M2003材料力学部門講演会講演論文集. 3-11. 447-448 (2003)
田邉裕貴: "D.C.マグネトロンスパッタリングにより作製したTiN薄膜の機械的特性に及ぼすバイアス電圧と成膜ガス圧の影響"日本機械学会M&M2003材料力学部門講演会講演論文集. 3-11. 447-448 (2003)
复制标题
Yuki Tanabe：“偏压和沉积气压对直流磁控管溅射制造的 TiN 薄膜机械性能的影响”日本机械工程师协会 M&M 2003 年材料力学分会论文集 3-11 (2003)。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
