走査型干渉顕微鏡観察下の粗面の垂直変位測定,光アライアンス
走査型干渉顕微鏡観察下の粗面の垂直変位測定,光アライアンス
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扫描干涉显微镜下粗糙表面的垂直位移测量，光学联盟
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
安達正明
中科院分区：
文献类型：
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作者：
小田邦彦;小柳健一;古荘純次;安達正明
