Piezoresistive nanocantilevers with an ultra-shallow boron doped layer usine spin-on diffusion method for MRFM application
Piezoresistive nanocantilevers with an ultra-shallow boron doped layer usine spin-on diffusion method for MRFM application
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具有超浅硼掺杂层的压阻纳米悬臂梁采用旋涂扩散方法用于 MRFM 应用
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y. G. Jiang
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. G. Jiang
