Nanoparticle sizing for CMP slurry using nanoparticle chip
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使用纳米颗粒芯片对 CMP 浆料进行纳米颗粒分级
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Terutake HAYASHI and Syuhei KUROKAWA
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Jiaqing ZHU;Terutake HAYASHI and Syuhei KUROKAWA
