IC Design of Pulse-Type Hardware Model for Piezo Electric Type MEMS Microrobot

IC Design of Pulse-Type Hardware Model for Piezo Electric Type MEMS Microrobot
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压电式MEMS微型机器人脉冲型硬件模型IC设计

DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
Proceedings of 41st Annual Conference of IEEE Industrial Electronics Society
影响因子：
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通讯作者：
K. Saito
K. Saito
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Y. Ishihara;K. Sugita;M. Tatani;H. Oku;M. Takato;F. Uchikoba;K. Saito

文献摘要

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