Measurement of Liquid Film Thickness Using a Partial Coherent Interferometry
Measurement of Liquid Film Thickness Using a Partial Coherent Interferometry
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使用部分相干干涉测量法测量液膜厚度
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Eiji Hihara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Chaobin Dang;Hanru Yu;Weixiao Shang ;Jun Chen;Eiji Hihara
