S.Shingubara, Z.Wang, T.Ida, H.Sakaue, T.Talahagi: "Direct Electroless Plating of Copper on Barrier Metals"Proc. of the 2002 Internaional Interconnect Conference. 176-178 (2002)
S.Shingubara, Z.Wang, T.Ida, H.Sakaue, T.Talahagi: "Direct Electroless Plating of Copper on Barrier Metals"Proc. of the 2002 Internaional Interconnect Conference. 176-178 (2002)
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S.Shingubara、Z.Wang、T.Ida、H.Sakaue、T.Talahagi:“在阻挡层金属上直接化学镀铜”Proc。
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