田邉裕貴: "DCマグネトロンスパッタリングにより作製したTiN薄膜の機械的特性に及ぼす成膜ガス圧の影響"日本機械学会論文集A編. (掲載決定4月). (2004)

田邉裕貴: "DCマグネトロンスパッタリングにより作製したTiN薄膜の機械的特性に及ぼす成膜ガス圧の影響"日本機械学会論文集A編. (掲載決定4月). (2004)
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Yuki Tanabe:“沉积气体压力对直流磁控溅射制造的 TiN 薄膜机械性能的影响”,日本机械工程师学会会刊,A 版(2004 年 4 月出版)。

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