錫ターゲットを用いたレーザー生成プラズマEUV光源からのデブリ放出特性
錫ターゲットを用いたレーザー生成プラズマEUV光源からのデブリ放出特性
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使用锡靶的激光产生的等离子体 EUV 光源的碎片发射特性
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
岡田龍雄
中科院分区：
文献类型：
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作者：
中村大輔;秋山智哉;高橋昭彦;岡田龍雄
