Electron temperature and ion energy control in modified magnetron-typed RF discharge
Electron temperature and ion energy control in modified magnetron-typed RF discharge
复制标题
改良磁控管型射频放电中的电子温度和离子能量控制
DOI：
10.1016/s0040-6090(00)01651-5
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发表时间：
2001
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
N. Sato
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Shimizu;K. Katô;Y. Li;S. Iizuka;N. Sato
