Selective Epitaxial Growth of pyramidal 3C-SiC on patterned Si substrate"
Selective Epitaxial Growth of pyramidal 3C-SiC on patterned Si substrate"
复制标题
金字塔形3C-SiC在图案化Si衬底上的选择性外延生长"
DOI：
--
复制
发表时间：
2002
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
S.Nishino
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Y.Okui;C.Jacob;S.Ohshima;S.Nishino
