新しい非蒸発型ゲッターである分子/無酸素 Ti 薄膜の作製と性能評価
新しい非蒸発型ゲッターである分子/無酸素 Ti 薄膜の作製と性能評価
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新型非蒸散型吸气剂分子/无氧Ti薄膜的制备及性能评价
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
吉川一朗
中科院分区：
文献类型：
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作者：
小野真聖;佐藤裕太;増田裕介;菊地貴司;大野真也;中山泰生;間瀬一彦;小澤健一;吉岡和夫;吉川一朗
