Futoshi Iwata: "Ultrasonic micromachining of Al thin film by combined quartz crystal resorator and atomic force microscopy" Thin Solid Films. (掲載決定). (1997)
Futoshi Iwata: "Ultrasonic micromachining of Al thin film by combined quartz crystal resorator and atomic force microscopy" Thin Solid Films. (掲載決定). (1997)
复制标题
Futoshi Iwata：“结合石英晶体谐振器和原子力显微镜对铝薄膜进行超声波微加工”薄固体薄膜（1997 年）。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
