浮遊キャスト法により成長した高品質Siバルク多結晶におけるゲッタリング効果
浮遊キャスト法により成長した高品質Siバルク多結晶におけるゲッタリング効果
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浮铸法生长高品质硅块体多晶的吸杂效应
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中嶋一雄
中科院分区：
文献类型：
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作者：
高橋勲;宇佐美徳隆;横山竜介;野瀬嘉太郎;藤原航三;中嶋一雄
