Etching process of hydrogen-terminated Si(110) vicinal surfaces prepared by a wet chemical process
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湿化学工艺制备的氢封端 Si(110) 邻面的蚀刻工艺
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Shozo Suto
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Layli Amaliya;Erina Kawamoto;Tomoyuki Yoneyama;Toshihiro Kawakatsu;Toyoaki Eguchi;Shozo Suto
