高出力パルスマグネトロンスパッタリングによるカーボンイオンの高密度生成
高出力パルスマグネトロンスパッタリングによるカーボンイオンの高密度生成
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高功率脉冲磁控溅射高密度生成碳离子
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
木村高志
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Masato Nakamura;Junya Sekikawa;木村高志
