T. Hara, H. Tanaka: "TaSiN Barrier Layer for Oxygen Diffusion" Japan J. of Appl. Phys.36. 893-895 (1997)
T. Hara, H. Tanaka: "TaSiN Barrier Layer for Oxygen Diffusion" Japan J. of Appl. Phys.36. 893-895 (1997)
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T. Hara、H. Tanaka：“用于氧扩散的 TaSiN 阻挡层” Japan J. of Appl。
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