T.Tatsuta: "Ion impact energy distributions and properties of amorphous hydrogenared carbon thin films prepares in a self-biased rf dischrage" Japanese Journal of Applied Physics. 33. 6341-6349 (1994)
T.Tatsuta: "Ion impact energy distributions and properties of amorphous hydrogenared carbon thin films prepares in a self-biased rf dischrage" Japanese Journal of Applied Physics. 33. 6341-6349 (1994)
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T.Tatsuta:“自偏置射频放电中制备的非晶氢化碳薄膜的离子冲击能量分布和特性”《日本应用物理学杂志》。
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