Characteristics and peculiarities of surface processing by gas cluster ion beams
Characteristics and peculiarities of surface processing by gas cluster ion beams
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气体团簇离子束表面加工的特点和特点
DOI：
10.1016/0168-583x(95)01227-3
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发表时间：
1996
影响因子：
1.3
通讯作者：
I. Yamada
中科院分区：
文献类型：
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作者：
I. Yamada
