M.Magane: "Measurements of the CF radical in DC pulsed CF_4/H_2 discharge plasma" Jph.J.Appl.Phys.
M.Magane: "Measurements of the CF radical in DC pulsed CF_4/H_2 discharge plasma" Jph.J.Appl.Phys.
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M.Magane：“直流脉冲 CF_4/H_2 放电等离子体中 CF 自由基的测量”Jph.J.Appl.Phys。
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