Controlling the Polarity of Scandium Aluminum Nitride (ScAlN) Piezoelectric Thin Films by Using Ge Addition
Controlling the Polarity of Scandium Aluminum Nitride (ScAlN) Piezoelectric Thin Films by Using Ge Addition
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通过添加 Ge 控制氮化铝钪 (ScAlN) 压电薄膜的极性
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Sri Ayu Anggraini
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Nishikawa M.;Sawai K.;Sakai K.;Kirigane N.;Ohnishi K.;Nakano W.;Matsuo Y.;Shibata H.;Sri Ayu Anggraini
