Effects of nitrogen injection on carbon film growth in low temperature hydrogen or deuterium plasmas with methane
Effects of nitrogen injection on carbon film growth in low temperature hydrogen or deuterium plasmas with methane
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氮气注入对含甲烷的低温氢或氘等离子体中碳膜生长的影响
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S. Masuzaki
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A. Sasaki;K. Iida;M. Notani;Y. Uesugi;Y. Tanaka;T. Ishijima;S. Masuzaki
