Kinetic Study of SiC Surface Nitridation in N2 Ambient with Simultaneous Oxidation in Passive and Active Oxidation Modes
Kinetic Study of SiC Surface Nitridation in N2 Ambient with Simultaneous Oxidation in Passive and Active Oxidation Modes
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N2气氛中SiC表面氮化同时被动和主动氧化模式氧化的动力学研究
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Tianlin Yang and Koji Kita
中科院分区：
文献类型：
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作者：
矢代航;梁暁宇;Wolfgang Voegeli;白澤徹郎;米山明男;Yasutaka Fujimoto;加藤明樹;鈴木左文;小林正治;Tianlin Yang and Koji Kita
