Design of a compact ultrahigh vacuum-compatible setup for the analysis of chemical vapor deposition processes.
Design of a compact ultrahigh vacuum-compatible setup for the analysis of chemical vapor deposition processes.
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用于分析化学气相沉积过程的紧凑型超高真空兼容装置的设计
DOI：
10.1063/1.4897620
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
M. Bäumer
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Th. Weiss;M. Nowak;U. Mundloch;V. Zielasek;K. Kohse-Höinghaus;M. Bäumer
