Feed-forward pressure control of balancing cylinder for hybrid electric-pneumatic ultra-precision vertical positioning device
Feed-forward pressure control of balancing cylinder for hybrid electric-pneumatic ultra-precision vertical positioning device
复制标题
电-气混合超精密垂直定位装置平衡缸前馈压力控制
DOI：
10.5739/jfps.50.18
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
徐 有衛
中科院分区：
文献类型：
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作者：
築山 義信;加藤 友規;中垣 瞬;徐 有衛
