溶液プロセスによる薄膜CeOx/(Hf,Zr)O2/CeOx積層構造の形成

溶液プロセスによる薄膜CeOx/(Hf,Zr)O2/CeOx積層構造の形成
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溶液法形成薄膜CeOx/(Hf,Zr)O2/CeOx叠层结构

DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
徳光 永輔
徳光 永輔
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
齋藤 瑞;モヒート;東嶺 孝一;徳光 永輔

文献摘要

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