K.Hayama, T.Togun and M.Ishida: "Heteroepitaxial growth of Al_2O_3 films on Si using dimethylethylamine-alane and O_2" Journal of Crystal Growth. 179. 433-437 (1997)
K.Hayama, T.Togun and M.Ishida: "Heteroepitaxial growth of Al_2O_3 films on Si using dimethylethylamine-alane and O_2" Journal of Crystal Growth. 179. 433-437 (1997)
复制标题
K.Hayama、T.Togun 和 M.Ishida：“使用二甲基乙胺铝烷和 O_2 在 Si 上异质外延生长 Al_2O_3 薄膜”晶体生长杂志。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
