単結晶シリコンの超精密切削による赤外線マイクロレンズアレイの加工
単結晶シリコンの超精密切削による赤外線マイクロレンズアレイの加工
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单晶硅超精密切割加工红外微透镜阵列
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
向田茉央，奥内拓海，閻 紀旺
中科院分区：
文献类型：
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作者：
German Herrera-Granados;Kiwamu Ashida;Ichiro Ogura;Yuichi Okazaki;Noboru Morita;Hidai Hirofumi;Souta Matsusaka and Akira Chiba;向田茉央，奥内拓海，閻 紀旺
