薄膜3C-SiC緩衝層を用いたGaN成長と評価

薄膜3C-SiC緩衝層を用いたGaN成長と評価
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使用薄膜 3C-SiC 缓冲层进行 GaN 生长和评估

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发表时间:
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期刊:
影响因子:
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通讯作者:
浅村英俊,川村啓介
浅村英俊,川村啓介
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
片桐正義;方  浩;三宅秀人;平松和政;奥 秀彦;浅村英俊,川村啓介

文献摘要

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