Heavily phosphorus-doped diamond thin films grown by hot filament CVD
Heavily phosphorus-doped diamond thin films grown by hot filament CVD
复制标题
热丝 CVD 生长重度磷掺杂金刚石薄膜
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Satoshi Koizumi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yuki Katamune;Akira Izumi;Kimiyoshi Ichikawa;Satoshi Koizumi
