パルスプラズマCVD法により成膜したDLC膜のマクロ欠陥検出
パルスプラズマCVD法により成膜したDLC膜のマクロ欠陥検出
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脉冲等离子体CVD法形成的DLC膜宏观缺陷检测
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大竹尚登
中科院分区：
文献类型：
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作者：
櫻田悠一;高島舞;赤坂大樹;岩本喜直;松尾誠;大竹尚登
