Surface Gradient Integrated Profiler for X-ray and EUV Optics

Surface Gradient Integrated Profiler for X-ray and EUV Optics
复制标题

适用于 X 射线和 EUV 光学器件的表面梯度集成轮廓仪

DOI：
--
复制
发表时间：
2006
期刊：
SR12006, Proc. of the Ninth International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation, May28-June2, 2006, DAEGU, EXCO, KOREA (In printing)
影响因子：
--
通讯作者：
Yuzo mori
Yuzo mori
中科院分区：
--
文献类型：
--
作者：
Yasuo Higashi;Yuichi Takaie;Katsuyoshi Endo;Tatsuya Kume;Kazuhiro Enami;Kazuto Yamauchi;Kazuya Yamamura;Yasuhisa Sano;Kenii Ueno;Yuzo mori

文献摘要

相似文献