Evaluation of hydration free energy of glass by electric potential change during chemical mechanical polishing
Evaluation of hydration free energy of glass by electric potential change during chemical mechanical polishing
复制标题
通过化学机械抛光过程中电势变化评价玻璃的水合自由能
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Kawahara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Suda;R. Fukuzaki;K. Kawahara
