マスター媒体のパターン形状がビット転写特性に及ぼす影響
マスター媒体のパターン形状がビット転写特性に及ぼす影響
复制标题
主介质图案形状对比特传输特性的影响
DOI:
--
复制
发表时间:
2011
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
杉田龍二
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
小野瀬勝;川崎龍太;田中康貴;川田裕介;小峰啓史;杉田龍二