H.Ohta, S.Hamaguchi, M.Wakatani, H.Yamada: "Numerical simulation of thermal relaxation processes during SiO_2 etching by CF_x beams"Proceedings of ICPIG XXVI (Greifswald, Germany, July 15-20,2003). 97-98 (2003)
H.Ohta, S.Hamaguchi, M.Wakatani, H.Yamada: "Numerical simulation of thermal relaxation processes during SiO_2 etching by CF_x beams"Proceedings of ICPIG XXVI (Greifswald, Germany, July 15-20,2003). 97-98 (2003)
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H.Ohta、S.Hamaguchi、M.Wakatani、H.Yamada：“CF_x 束蚀刻 SiO_2 期间热弛豫过程的数值模拟”ICPIG XXVI 会议记录（德国格赖夫斯瓦尔德，2003 年 7 月 15-20 日）。
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