Optical Emission Spectroscopy of Sputtering Type Oxygen Radical Source for the Deposition of TiO2 Films by Reactive Sputtering
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复制标题
反应溅射沉积 TiO2 薄膜的溅射型氧自由基源的发射光谱
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Yutaka Sawada
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hao Lei;Yoichi Hoshi;Daiki Ishihara;Meihan Wang;Yutaka Sawada
