マルチスケール製膜速度分布を用いたGaN MOVPE反応機構の解析
マルチスケール製膜速度分布を用いたGaN MOVPE反応機構の解析
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利用多尺度沉积速率分布分析GaN MOVPE反应机理
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中野義昭
中科院分区：
文献类型：
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作者：
杉山正和;安河内諭;塩田倫也;霜垣幸浩;中野義昭
