Large UV sensitivity of SiON film and its application to center wavelength trimming of microring resonator filter
Large UV sensitivity of SiON film and its application to center wavelength trimming of microring resonator filter
复制标题
SiON薄膜的高紫外灵敏度及其在微环谐振滤波器中心波长微调中的应用
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Yasuo Kokubun
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Satoshi Ueno;Toshiki Naganawa;Yasuo Kokubun
