In-situ RF-MBEによるる窒化物構造上AlOx薄膜の結晶成長
In-situ RF-MBEによるる窒化物構造上AlOx薄膜の結晶成長
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原位 RF-MBE 在氮化物结构上晶体生长 AlOx 薄膜
DOI:
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发表时间:
2013
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
東脇 正高
中科院分区:
文献类型:
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作者:
杉浦 洋平;本田 徹;東脇 正高