Fujimoto, T.: "Evaluation and Control of Co - deposition o f Vapor and Cluster/particle in TEOS/OィイD23ィエD2-APCVD Thin Film Preparation Process."Kagaku Kogaku Symposium Series. 67. 31-39 (1999)

Fujimoto, T.: "Evaluation and Control of Co - deposition o f Vapor and Cluster/particle in TEOS/OィイD23ィエD2-APCVD Thin Film Preparation Process."Kagaku Kogaku Symposium Series. 67. 31-39 (1999)
复制标题

Fujimoto, T.:“TEOS/O-D23-APCVD 薄膜制备过程中蒸气和团簇/颗粒共沉积的评估和控制”Kagaku Kogaku 研讨会系列 67. 31-39 (1999)。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献