N.Moronuki: "Linear Motion Microsystem Fabricated on a Silicon Wafer"Proc.of American Soc.Prec.Eng.. 291-294 (1999)
N.Moronuki: "Linear Motion Microsystem Fabricated on a Silicon Wafer"Proc.of American Soc.Prec.Eng.. 291-294 (1999)
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N.Moronuki：“在硅片上制造的线性运动微系统”Proc.of American Soc.Prec.Eng.. 291-294 (1999)
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