Fully Printed MEMS Structures and its Sensor Application
Fully Printed MEMS Structures and its Sensor Application
复制标题
全印刷MEMS结构及其传感器应用
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Hirobumi Ushijima
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Shusuke Kanazawa;Yasuyuki Kusaka;Yoshinori Horii;and Hirobumi Ushijima
